行業(yè)應(yīng)用
IC高速分選機(jī)——轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)
行業(yè)背景
隨著新興的智能設(shè)備市場(chǎng)需求激增, IC芯片的應(yīng)用和發(fā)展得到大幅提升,常見(jiàn)如汽車電子和消費(fèi)電子、5G、物聯(lián)網(wǎng)以及工業(yè)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域,均有廣泛應(yīng)用。
同時(shí)隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷發(fā)展,芯片線寬尺寸不斷減小,制造工序也逐漸復(fù)雜。目前國(guó)際7nm 制程需要將近2000道工序,先進(jìn)的制程和復(fù)雜的工序?qū)⒊掷m(xù)提升對(duì)先進(jìn)設(shè)備的需求。
工作原理
分選機(jī)主要應(yīng)用于芯片設(shè)計(jì)檢驗(yàn)階段和成品終測(cè)(FT)環(huán)節(jié),是終測(cè)環(huán)節(jié)重要檢測(cè)設(shè)備之一。
轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)尤其適用于小型片式半導(dǎo)體分立元件的打標(biāo)、測(cè)試、分選和包裝,是一種主轉(zhuǎn)盤(pán)在中心,各個(gè)測(cè)試工位按照順序均布在主電機(jī)周圍的一種高速分選機(jī),通常包含工位有16個(gè)和24個(gè)等多種型號(hào)。
產(chǎn)品通過(guò)上料結(jié)構(gòu)被送到主電機(jī)轉(zhuǎn)盤(pán)上;
主電機(jī)轉(zhuǎn)盤(pán)吸住芯片并通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)將產(chǎn)品送到下一個(gè)工位;
上料工位工作;
主電機(jī)轉(zhuǎn)盤(pán)吸取新的一個(gè)產(chǎn)品。
特點(diǎn)
主電機(jī)每轉(zhuǎn)動(dòng)一格,都會(huì)將產(chǎn)品送到各個(gè)工位,有產(chǎn)品的工位將對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)試等處理,如此周而復(fù)始
同一時(shí)間會(huì)有多個(gè)工位對(duì)多個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行處理
占地面積小、精度高、速度快
技術(shù)難點(diǎn)
轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備的每小時(shí)產(chǎn)量較高,當(dāng)前市場(chǎng)上速度快的設(shè)備每小時(shí)可以完成5-6萬(wàn)及更多枚芯片的測(cè)試。
目前轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)國(guó)產(chǎn)自給率低,因其 UPH(每小時(shí)分選芯片數(shù)量)是高的一類分選機(jī),在高速運(yùn)行下,既要保證重復(fù)定位精度,又要保證較低的 Jam Rate(故障停機(jī)比率), 這對(duì)分選機(jī)設(shè)備開(kāi)發(fā)提出了更高的要求。
尤其隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,主轉(zhuǎn)盤(pán)工位(高速轉(zhuǎn)塔)的運(yùn)行速度、轉(zhuǎn)動(dòng)精度、振動(dòng)幅度和跳動(dòng)幅度等因素決定了高速分選機(jī)的生產(chǎn)效率和穩(wěn)定性,是整臺(tái)設(shè)備的高效運(yùn)行的核心,這也對(duì)高速轉(zhuǎn)塔工位應(yīng)用的轉(zhuǎn)盤(pán)直驅(qū)馬達(dá)的精度、速度、穩(wěn)定性要求越來(lái)越高。
-
常規(guī)轉(zhuǎn)塔式測(cè)試分選機(jī)技術(shù)要求
-
-
16-24個(gè)工位/旋轉(zhuǎn)角度:15°~22.5°
-
-
單工位轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間:18~22ms
-
-
轉(zhuǎn)盤(pán)慣性:0.003~0.020 kg.m2
-
-
測(cè)試時(shí)間:35~60ms
-
-
產(chǎn)能:40~60 k UPH
-
-
向下/向上Z軸的平均移動(dòng)時(shí)間:3~20ms
-
雅科貝思應(yīng)用方案
主轉(zhuǎn)盤(pán)直驅(qū)方案
主轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)是高速分選機(jī)重要的運(yùn)動(dòng)之一,而主轉(zhuǎn)盤(pán)驅(qū)動(dòng)狀況取決于選取的主電機(jī)性能,雅科貝思ADR-H系列能足夠滿足轉(zhuǎn)塔應(yīng)用的此類運(yùn)動(dòng)曲線,非常適用于高精度的移動(dòng)、速度響應(yīng)要求高和對(duì)端跳要求較高的場(chǎng)合。
從運(yùn)動(dòng)控制的角度看,該過(guò)程在技術(shù)上極具挑戰(zhàn)性:它需要轉(zhuǎn)塔電機(jī)以非常高的速度運(yùn)行并承受振動(dòng)。搭載雅科貝思為高速分選機(jī)的直驅(qū)馬達(dá)定制的伺服驅(qū)動(dòng)器,使速度穩(wěn)定性進(jìn)一步提高。